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混合键合,集体延期了​

2026.02.05


​​​广东吉洋视觉专注AOI视觉检测设备 (半导体晶圆AOI;半导体国产AOI;半导体行业国产AOI;半导体SMT AOI;半导体贴片AOI


       三星电子和SK海力士已宣布第六代高带宽存储器(HBM4)量产,但据报道,他们已推迟引入混合键合机,该键合机原本预计会部分用于HBM4的生产。三星电子和SK海力士计划使用现有公司(例如Semes和韩美半导体)提供的TC键合机进行HBM4的量产。即使是最初预计采用混合键合机的16层HBM4产品,也可能使用TC键合机来实现。

       据业内人士3日透露,三星电子和SK海力士计划通过调整HBM4的堆叠高度,继续沿用现有的微凸点(细凸点)DRAM堆叠方式。凸点指的是导电凸起,例如引线。这意味着他们将通过缩小凸点间距,在下一代产品中继续采用基于微凸点的堆叠技术。不过,三星电子计划在HBM4E(第七代HBM)阶段,即HBM4之后的下一代产品中,部分采用混合键合技术。

       尽管混合键合机的研究和测试仍在进行中,但距离大规模生产仍需时日。混合键合机被誉为下一代HBM市场的“颠覆性技术”。目前HBM制造中使用的TC键合机通过对凸点施加热量和压力来堆叠芯片。相比之下,混合键合机无需单独的凸点即可连接芯片,使其成为制造20层或更高层数堆叠芯片的必备设备。由于芯片之间没有凸点,它可以最大限度地减少电信号损耗,从而提高半导体性能。

       业界强调,引入混合键合机对于提升下一代HBM的性能目标至关重要。HBM4的通道数比上一代翻了一番,接口宽度也随之增加,每引脚(信号线)的信号传输速度也得到了提升。正因如此,无需凸点即可贴装HBM的混合键合机备受关注。

       然而,由于混合键合机尚未实现大规模生产和良率,三星电子和SK海力士目前选择最大限度地发挥热连接键合机的性能。关于间距缩放(缩小凸点和焊盘间距)这一最大的难题,众所周知,HBM4的设计目标是将微凸点间距缩小到约10微米(μm)。据解释,这种设计仍然可以达到HBM4的目标性能。此前,NVIDIA要求这两家公司将HBM4的性能提升至每引脚11.7 Gb/s。

       市场研究公司 CTT Research 解释说:“去年 8 月,北美客户美光计划推出一款无需助焊剂的‘无助焊剂键合机’,但已将其推迟到 2028 年。”该公司补充道:“这是因为现有的热电偶键合机可以满足国际半导体标准组织 (JEDEC) 要求的规范,而无助焊剂键合机和混合键合机的价格是其两倍多,且良率低于 50%。”

       三星电子在上个月的第四季度财报电话会议上表示:“我们已向客户寄送了采用混合键合技术的HBM4样品,预计HBM4E将逐步实现商业化。”然而,三星内外的消息人士均指出,即使在主流的HBM4E产品中,热电偶键合机仍将发挥核心作用。一位熟悉三星的消息人士解释说:“虽然混合键合技术可以应用于一些需要它的高端产品线,但其稳定性尚不及热电偶键合机,无法用于大规模生产。”他还补充道:“在价格和良率方面,混合键合技术仍有改进空间。”

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