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中国半导体检测和量测

文章出处:公司动态 责任编辑:广东吉洋视觉技术有限公司 发表时间:2022-04-13
  ​广东吉洋视觉专注AOI视觉检测设备 ( 吉洋LED半导体AOI设备;深度学习算法AOI;半导体晶圆AOI;DIP波峰焊AOI;LED半导体划片检测AOI)

       中国是最大的半导体消费市场,占全球34.6%,也是最大的半导体设备市场占18.7%。但中国半导体制造使用的设备大部分来自美国,其中晶圆制造前端检测和量测国产化设备国产化率更是小于2%,并大部分集中于成熟工艺。国内龙头存储晶圆厂项目中,过程控制设备国产化率低于10%。
       ​全球半导体检测和量测设备市场主要由海外厂商主导并垄断,其中KLA 在大多细分领域具有明显优势,此外AMAT、ASML、Nova、Hitachi也有所布局。半导体工艺控制公司中KLA占比超50%。以长江存储项目2021年上半年设备中标情况来看,2021年上半年长江存储累计中标过程控制类设备约 350 台,其中国产设备累计约14 台。包括上海精测中标6 台集成式膜厚设备;中科飞测中标1台晶圆表面凹陷检测系统、5 台光学表面三维形貌量测设备;睿励科学中标 1 台介质薄膜测量系统。与之相对,KLA 的设备机台数量占总数量约26%,中标数量约93 台,覆盖将近40种量测、检测需求,超过国产半导体量测设备的6倍。
       ​检测和量测设备是半导体设备最难的领域之一,涉及的知识面非常广,工程化非常困难,起步相对较晚的国产半导体产业在这一领域也相对落后。
       ​但中国半导体产业基础相对薄弱,而且相关领域的人才也较为匮乏。半导体量测设备产业的突破需要结合物理学原理及高精密的自动化装备技术,而中国物理及数学基础研究人才相对缺乏,精密设备及精密器件行业发展水平也较低,因此先进半导体量测设备的研发受配套行业技术水平的约束。


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